【摘 要】
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本文介绍了一种抽速达1600升/秒的最新式涡轮分子泵的结构和性能。为了达到所要求的抽速,叶片的几何形状、叶轮的排列方法,以及压缩比的选择,都是根据不含有经验成分的理论,
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本文介绍了一种抽速达1600升/秒的最新式涡轮分子泵的结构和性能。为了达到所要求的抽速,叶片的几何形状、叶轮的排列方法,以及压缩比的选择,都是根据不含有经验成分的理论,从大量模型泵中计算出来的。这种泵的机械尺寸与十年前相同,而抽速却超过了10倍。新型泵还安装了一种对?
This article describes the structure and performance of a state-of-the-art turbo-molecular pump with a pumping speed of 1600 l / s. In order to achieve the required pumping speed, the geometry of the blades, the arrangement of the impellers, and the selection of the compression ratio are all calculated from a large number of model pumps based on the theory without empirical components. The mechanical size of this pump is the same as a decade ago, and pumping speed is more than 10 times. New pump also installed a right?
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