【摘 要】
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采用双放电腔MW-ECR等离子体源增强磁控溅射和沉积技术,在TiNi合金表面成功地镀制了梯度DLC膜。拉曼光谱分析表明实验获得的薄膜是典型的DLC膜,其结构受梯度层工艺影响。采用
【机 构】
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大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室,大连理工大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(30470521)
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采用双放电腔MW-ECR等离子体源增强磁控溅射和沉积技术,在TiNi合金表面成功地镀制了梯度DLC膜。拉曼光谱分析表明实验获得的薄膜是典型的DLC膜,其结构受梯度层工艺影响。采用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌,结果显示其表面较为平整。在Troyde’s模拟体液中的电化学腐蚀实验结果说明,梯度DLC膜显著地增强了TiNi合金基体的抗腐蚀能力。从示差扫描量热仪(DSC)结果看到表面改性没有明显影响TiNi合金基体的使用性能。
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