微电磁继电器的结构设计和仿真分析

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lanyezy
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍一种微电磁继电器的结构和工作原理.应用ANSYS软件对这种微继电器的蟹脚型悬臂梁进行静力学和动力学性能分析,得到结构参数对其机械性能影响的关系曲线,初步确定该结构的模型.仿真结果表明,在工况相同的情况下,它的最大位移量随梁厚、梁宽的增大而减小,随梁胫、梁股的增大而增大,一阶模态频率随这些参数的变化正好相反.此法也适于对其它类型悬臂梁的分析.
其他文献
由于衍射光学元件独特的色散特性及体积小、重量轻可进行复制等优点,它在国防、生产及科研等领域的作用越来越重要,应用于光学成像系统,不仅能改善系统成像质量,而且能实现系统的
邻近效应是指电子在抗蚀剂和基片中的散射引起图形的改变,它严重地影响了图形的分辨率。有多种方法对邻近效应进行修正和剂量调整、图形调整等。我们以JBX-5000LS为手段,用三种方法:1.图形尺
期刊
在健力宝事件中三水区政府接管企业的行为的实质是行政权力对私权的粗暴侵犯。而在美国也曾发生过相似的政府行政权力干涉私人社团正常经营的事件——达特茅斯学院案,对案件的
行政复议管辖问题是整个行政复议制度的有机组成部分,对行政复议的实施起着重要的作用。从1990年行政复议条例的制定到1999年行政复议法对行政复议管辖制度的修改,最终形成现在
用射频磁控溅射技术制备了TiN掺Co的薄膜样品.400 ℃真空退火后,振动样品磁强计测量(VSM)表明,样品在室温下具有显著的铁磁性.其饱和磁化强度为2.93×108 A/m,饱和磁场强
广州海事法院是受理广东全省海域和通海的内河可航水域海事海商案件的专门法院,最高人民法院通过司法解释具体规定了海事法院的受理案件范围。广东省高级人民法院也曾于2002年
利用负偏压增强热丝化学气相沉积在低衬底温度(550℃)下催化生长了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它的生长过程,发现低温下碳纳米管能否定向生长依赖于等离子体功率,同时
我国宪法对私有财产的保护经历了一个逐渐演变的过程,这个过程是与我国经济制度的发展变化相适应的。1949年《共同纲领》中规定:保护国家的公共财产和合作社的财产,保护工人、农