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多晶硅生产的研究现状及发展趋势
多晶硅生产的研究现状及发展趋势
来源 :云南冶金 | 被引量 : 0次 | 上传用户:daifeng216216
【摘 要】
:
介绍了多晶硅的主要生产方法即西门子法、硅烷法和冶金法,分析了国内外的相关研究者的研究成果和研究动向。在综合分析了这些方法的基础上,指出了未来多晶硅生产的趋势:硅烷法
【作 者】
:
田林
谢刚
俞小花
李荣兴
【机 构】
:
昆明理工大学冶金与能源工程学院,昆明冶金研究院
【出 处】
:
云南冶金
【发表日期】
:
2011年3期
【关键词】
:
多晶硅
西门子法
硅烷法
冶金法
poly silicon
Siemens process
silicane process
metallurgic me
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介绍了多晶硅的主要生产方法即西门子法、硅烷法和冶金法,分析了国内外的相关研究者的研究成果和研究动向。在综合分析了这些方法的基础上,指出了未来多晶硅生产的趋势:硅烷法和冶金法由于能耗低、生产成本低等优点,将是未来多晶硅生产的主要技术。
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