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介绍了一种新型离子渗镀钽的工艺方法。较好解决了渗镀钽时供给活性钽粒子的总是比方法工艺简单，操作方便，效率高。为充分利用和节约使用昂贵的钽探索了一条实用可行的途径。
双层辉光离子渗镀钽
【摘 要】
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介绍了一种新型离子渗镀钽的工艺方法。较好解决了渗镀钽时供给活性钽粒子的总是比方法工艺简单，操作方便，效率高。为充分利用和节约使用昂贵的钽探索了一条实用可行的途径。
【机 构】
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太原工业大学表面工程研究所
【出 处】
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材料科学与工艺
【发表日期】
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1997年3期
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