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纳米二氧化钒薄膜的电学与光学相变特性
【出 处】
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光谱学与光谱分析
【发表日期】
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2020年1期
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透明导电氧化物(TCOs)薄膜由于其宽带隙、高电导率、可见光范围内极高的透过率以及红外波段高的反射率等特性，被广泛应用于各种光电器件，如太阳能电池、热镜、表面声波器件和液晶显示器的透明导电电极等。由于本征施主型缺陷的存在，如间隙金属原子、氧空位以及反位原子等，未人为掺杂的TCO大多为n型半导体。众所周知，pn结是大部分半导体器件的核心部件，p型TCO的缺失大大制约了透明导电氧化物的应用，因此p型T
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