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综述了绝缘层上的硅(SOI)材料的新结构包括不同绝缘埋层和不同半导体材料结构的最新进展,介绍了SOI器件的新结构和SOI器件在抗辐射电子学方面的应用,报道了国内在SOI技术的研发和产业化的最新动态.
SOI材料和器件及其应用的新进展
【摘 要】
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综述了绝缘层上的硅(SOI)材料的新结构包括不同绝缘埋层和不同半导体材料结构的最新进展,介绍了SOI器件的新结构和SOI器件在抗辐射电子学方面的应用,报道了国内在SOI技术的研
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2003年9期
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