【摘 要】
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本文主要介绍了用于扫描力显微镜并带动探针运动的扫描器的研制.利用该扫描器,研制了能安装在纳米测量机上作为探测传感器的上扫描力显微镜.扫描力显微镜与中科院化学所本原
【机 构】
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中国一航北京长城计量测试技术研究所,中科院化学所奉原纳米仪器公司
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本文主要介绍了用于扫描力显微镜并带动探针运动的扫描器的研制.利用该扫描器,研制了能安装在纳米测量机上作为探测传感器的上扫描力显微镜.扫描力显微镜与中科院化学所本原纳米仪器公司的扫描探针显微镜控制器联接进行实验测试,在23μm×23μm×5μm的扫描范围对样品进行了扫描成像.经测试、分析和计算,在全量程扫描范围内横向和纵向分辨力分别为O.35nm和0.1m、在未有任何软件和硬件补偿的情况下横向满量程扫描范围内精度为5%.
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