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本文分析了集成芯片制造过程中产生的环境污染及对人类健康的危害，对控制此类污染提出了建议。
集成芯片制造业环境污染的产生与危害
【摘 要】
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本文分析了集成芯片制造过程中产生的环境污染及对人类健康的危害，对控制此类污染提出了建议。
【机 构】
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中国人民解放军环境科学研究中心
【出 处】
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中国环保产业
【发表日期】
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2002年4期
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