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随着我国近年来多晶硅生产规模急剧扩大，副产物SiCl4产生的数量将是一个非常庞大的数字，如果不能充分利用，采取自由排放，将可能产生环境灾难和巨大资源浪费。因此生产多晶硅的企业，必须现在就考虑对SiCl4副产物的处理问题，这个问题可以说是关系多晶硅生产企业“生死存亡”的大问题。
综合利用副产物SiCl4氢还原生产多晶硅
【摘 要】
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随着我国近年来多晶硅生产规模急剧扩大，副产物SiCl4产生的数量将是一个非常庞大的数字，如果不能充分利用，采取自由排放，将可能产生环境灾难和巨大资源浪费。因此生产多晶硅的企
【机 构】
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四川峨嵋半导体材料厂、所 ,四川峨嵋半导体材料厂、所
【出 处】
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新材料产业
【发表日期】
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2008年8期
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