【摘 要】
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随着微型机电系统(MEMS)的快速发展,MEMS摩擦学已成为当前纳米摩擦学研究中最活跃的前沿领域之一.微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的性能、稳定性和寿命起着决定作
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随着微型机电系统(MEMS)的快速发展,MEMS摩擦学已成为当前纳米摩擦学研究中最活跃的前沿领域之一.微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的性能、稳定性和寿命起着决定作用,因此研究MEMS的微观摩擦学性能至关重要.本文对近年国内外MEMS摩擦学研究的新进展作了综述,介绍了MEMS系统的纳米摩擦学特性,讨论了包括环境条件、材料处理、表面改性、分子超薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和润滑问题上的研究状况,提出了当前相关研究的几个重要问题.
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