【摘 要】
：
<正> 荷兰菲利普科学仪器设备部研制的EBPG-4,是适于生产线用的最小描绘线宽为0.1μm的可变束矢量扫描型电子束曝光装置。除能用于Si和GaAs片子的直接描绘外,还用于掩模制造
论文部分内容阅读
<正> 荷兰菲利普科学仪器设备部研制的EBPG-4,是适于生产线用的最小描绘线宽为0.1μm的可变束矢量扫描型电子束曝光装置。除能用于Si和GaAs片子的直接描绘外,还用于掩模制造。束斑直径在25nm～1mm的范围内变化,若对3英寸片子用2μm的线描绘图形(描绘比例约1/3)约用15分钟。电子束的定位误差在0.075μm以下。加速电压,束流密度及束的大小都能自动控制,这些参数采用CRT显示和键盘确定。价格约200万美元,预定1986年3月出
其他文献
公路预防性养护作为一项系统工程,需要对公路路面可能发生的病害进行针对性养护、系统性研究,从预防开始,运用科学合理的养护技术,提高我国公路运行质量。文章以沥青路面预防
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
杜比实验室（纽交所代码：DLB）今天宣布广受认可的杜比PRM－4200专业视频效果测试校正仪现已在大中华地区上市。杜比PRM-4200专业视频效果测试校正仪专为那些依赖于最精确的测量工具
本文从数控机床伺服系统的工作原理入手,分析伺服系统常见故障的分析手段与方法,并以工作中遇到的配备FAUNC0i-mate-TC数控系统的CK0625数控机床伺服系统的典型故障实例,进一
今后,在电力企业的发展中,需要重视高压电气试验设备所存在的问题和缺点,并结合实际情况,对其进行不断的完善与改进,以保障电气设备的安全生产。当前,高压电网中存在很大故障
随着集成电路制造工艺的发展,VLSI（Very Large Scale Integrated）电路测试面临着测试数据量大和测试功耗过高的问题.对此,本文提出一种基于多级压缩的低功耗测试数据压缩方案.
【摘要】以增强单片机课程教学效果、提高学生积极性和创造性为目的，针对“单片机技术应用”课程的特点，从课程教学理念、内容、教学方法和手段、实践教学体系等方面进行了教学改革的研究和尝试。根据职业岗位对能力要求的不断提升，遵循单片机工程师成长规律，创新基于“能力递进”的DIY教学模式，使学生能力逐步提高，职业素养逐渐养成，实现良好的教学效果。 【关键词】单片机;DIY;课程教学;Proteus仿真;实
文章以功率放大器、保护电路、供电为主线。采用“项目主导、模块分解、以面盖点、以点辐面”的教学模式，将模拟电子技术中的知识点贯穿其中。体现了教师对该门课程的整体把控