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1序言 在微系统技术与毫微工艺的年代，毫牛顿（mN）与微牛顿（μN）范围内微小力的测量与可再循环性越来越受到重视。一些典型应用有原子能显微术、坐标量测量仪、描刻器和硬度测量装置；在通常情况下，这些仪器是以周期触及法测量出试验试样的机械性能和囚次测量值。为了前段表面没有不可逆地变形或在极端情况下没有损坏，随着试样结构越来越微型化，触及力也须减小。