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针对90 nm及以下线宽光刻设备对掩模版升降定位存取机构功能和性能的需求,确定了掩模版升降定位存取机构的基本构架,并对机构进行了设计。
掩模版升降定位存取机构
【摘 要】
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针对90 nm及以下线宽光刻设备对掩模版升降定位存取机构功能和性能的需求,确定了掩模版升降定位存取机构的基本构架,并对机构进行了设计。
【机 构】
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上海微高精密机械工程有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年6期
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