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研究了分别在十五烷、无水乙醇和蒸馏水润滑下单晶硅的摩擦磨损行为及其相变和脆塑行为．结果表明：在十五烷润滑下单晶硅的摩擦系数和磨损体积损失最低，而在蒸馏水润滑下的摩擦系数和磨损体积损失最大；单晶硅在非极性溶剂十五烷润滑下发生明显的Si-Ⅰ→a-Si相变，磨损表面光滑并呈现明显的金属塑性特征；单晶硅在无水乙醇润滑下发生轻度Si-Ⅰ→a-Si相变，磨损表面特征为微弱的塑性变形和微断裂共存；在蒸馏水润滑下，单晶硅发生轻度的Si-Ⅰ→Si-Ⅲ相变，磨损表面变得粗糙并伴有大量微断裂；润滑介质的极性是影响单晶硅磨损表面