【摘 要】
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基于微电子和微机械加工工艺制备了一类氮化铝AlN（Aluminum Nitride）压电微扬声器。研究了器件薄膜残余应力对器件性能的影响,采用带有高残余压应力的高c-轴取向氮化铝薄膜分别
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院,佛罗里达大学电气与计算机工程系
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基于微电子和微机械加工工艺制备了一类氮化铝AlN（Aluminum Nitride）压电微扬声器。研究了器件薄膜残余应力对器件性能的影响,采用带有高残余压应力的高c-轴取向氮化铝薄膜分别作为器件压电层和支撑层增大微扬声器的输出声压,同时利用工艺手段控制整体薄膜残余应力进一步增大器件输出声压。该微扬声器的悬膜直径仅为1.35 mm,厚度为0.95μm。在开放空间内,采用声压级检测仪对该微扬声器的输出声压级SPL（Sound Pressure Level）进行扫频测试（频率范围：0.5kHz～20 kHz）。
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