【摘 要】
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本文用压痕法测定了离子溅射TiC 膜和化学气相沉积TiN 膜的附着力。实验表明压痕法能够方便地测定薄膜与基体间附着力的大小,并给出了实验结果。
In this paper, the adhesi
【机 构】
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中国科学院固体物理研究所,中国科学院固体物理研究所
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本文用压痕法测定了离子溅射TiC 膜和化学气相沉积TiN 膜的附着力。实验表明压痕法能够方便地测定薄膜与基体间附着力的大小,并给出了实验结果。
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