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Nd：YAG激光机是为集成电路自动划片而制的加工设备。
Nd：YAG激光划片机
【摘 要】
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Nd：YAG激光机是为集成电路自动划片而制的加工设备。
【机 构】
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襄樊市激光技术研究所
【出 处】
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四川激光
【发表日期】
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1981年A02期
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