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半导体硅片的品质工艺与产品质量研究
半导体硅片的品质工艺与产品质量研究
来源 :山东工业技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaobudian1980
【摘 要】
:
近年来,我国的半导体技术获得了飞速的发展,再加上国家给予的有力支持,国内的半导体产业逐渐发展壮大,但与国外相比,还存在较大差距,还需进一步提高产品质量。因此,本文就半
【作 者】
:
杨玉梅
【机 构】
:
中国电子科技集团有限公司第四十六研究所
【出 处】
:
山东工业技术
【发表日期】
:
2018年17期
【关键词】
:
半导体硅片
品质工艺
产品质量
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近年来,我国的半导体技术获得了飞速的发展,再加上国家给予的有力支持,国内的半导体产业逐渐发展壮大,但与国外相比,还存在较大差距,还需进一步提高产品质量。因此,本文就半导体硅片的品质工艺与产品质量展开研究,希望为我国半导体产业的发展提供一定借鉴。
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