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本文以单晶硅为基体，时等离子体对基体进行清洗，用法制备类金刚石（DLC）膜和掺氮的DLC膜。沉积DLC膜所用的气体是乙炔和氩气，沉积掺氮的DLC膜用乙炔和氮气。利用衰减全反射红外光谱（ATR-FTIR）和扫描电子显微镜（SEM）对沉积的DLC膜和掺氮的DLC膜进行结构分析和观察表面形貌。考察了乙炔比例、放电功率等沉积参数对DLC膜的影响。通过接触角和血小板黏附实验，进行了DLC膜的抗凝血性能分析，效果较好。