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采用射频溅射法在Si基片上制备BaSrTiO3（BST）薄膜，利用S射线衍射和原子力显微镜（AFM）研究了快速热处理温度和时间对BaSrTiO3薄膜微结构的影响。结果表明：BST薄膜的衍射峰强度和结晶度随退火温度的升高而提高。随退火温度的升高，BST薄膜的表面粗糙度经历先降低后增大的过程，而BST薄膜的晶粒尺寸单调减小。当退火温度为700℃时，随退火时间的增加，BST薄膜的晶粒尺寸几乎不发生变化，而表面粗糙度单调减小。