【摘 要】
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聚焦离子束（FIB）技术越来越广泛地应用于纳米加工等领域,其加工机理的研究是该技术发展的重要基础。本文针对纳米结构加工过程中聚焦离子束对加工精度的影响规律,基于蒙特卡罗
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,南京大学固体微结构物理国家重点实验室
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聚焦离子束（FIB）技术越来越广泛地应用于纳米加工等领域,其加工机理的研究是该技术发展的重要基础。本文针对纳米结构加工过程中聚焦离子束对加工精度的影响规律,基于蒙特卡罗法的SRIM程序,对离子轰击硅、金、铬等典型基底进行了仿真分析与建模,研究了Ga＋、He＋、Ne＋不同离子束的入射能量对入射深度、能量损伤、横向离散等参数的影响规律,解释了He＋在加工小于10nm线宽结构中的优势及其加工中存在的新现象。结果表明,在FIB加工过程中可采用不同的离子束源,进行加工结构的工艺优化。
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