一种新的散射电子空间输运坐标转换方法

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cqcd1996

【摘要】

：

提出一种新的随动坐标系矢量转换方法,给出用于转换散射电子空间输运坐标的矩阵方程.该方程具有递推的形式,计算方便,并且只涉及乘法运算,不会引起计算上的困难,将其用于PMMA

【作者】

：

任黎明陈宝钦谭震宇顾文琪

【机构】

：

中国科学院微电子中心微光刻实验室,山东大学电气工程学院,中国科学院微电子中心电工研究所

【出处】

：

光电工程

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

电子束曝光蒙特卡罗法坐标转换 Electron-beam exposure Monte Carlo method Coordinate transfor

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提出一种新的随动坐标系矢量转换方法,给出用于转换散射电子空间输运坐标的矩阵方程.该方程具有递推的形式,计算方便,并且只涉及乘法运算,不会引起计算上的困难,将其用于PMMA(Si中电子散射过程的Monte Carlo模拟,结果表明可以有效节约机时,提高模拟效率,明显优于习惯上使用的静态坐标系方程.

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