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通过介绍ZnO的晶体结构和基本物理性质，系统地讲述国内外ZnO薄膜的溅射法、喷雾热解法（SP）、气相沉积法（CVD）、脉冲激光沉积法（PLD）、溶胶-凝胶法（Sol-gel）等制备方法及各自的优缺点，较为详细地列举了国内外ZnO薄膜在工程技术中的应用。
ZnO薄膜的研究现状
【摘 要】
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通过介绍ZnO的晶体结构和基本物理性质，系统地讲述国内外ZnO薄膜的溅射法、喷雾热解法（SP）、气相沉积法（CVD）、脉冲激光沉积法（PLD）、溶胶-凝胶法（Sol-gel）等制备方法及各自的优缺点，较
【机 构】
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西华师范大学物理与电子工程学院
【出 处】
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重庆文理学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年2期
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