基于COMSOL的皮秒激光单脉冲烧蚀铜片

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:CZXchen10
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利用COMSOL仿真软件建立了铜片双温模型,通过控制变量,数值研究了光斑半径和激光能量对电子与晶格温度的影响,并预测了烧蚀形貌。结果表明,单脉冲激光光斑半径越大,铜片的烧蚀深度越小,烧蚀面积越大;激光能量越高,铜片的烧蚀深度越大,烧蚀面积越大。实验结果进一步证实了仿真的可靠性。
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