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基于COMSOL的皮秒激光单脉冲烧蚀铜片
基于COMSOL的皮秒激光单脉冲烧蚀铜片
来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:CZXchen10
【摘 要】
:
利用COMSOL仿真软件建立了铜片双温模型,通过控制变量,数值研究了光斑半径和激光能量对电子与晶格温度的影响,并预测了烧蚀形貌。结果表明,单脉冲激光光斑半径越大,铜片的烧
【作 者】
:
纪利平
宋梓钰
孙亚萍
王兴盛
李成玉
【机 构】
:
南京农业大学工学院;
【出 处】
:
激光与光电子学进展
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
激光技术
激光加工
COMSOL仿真
双温模型
温度场
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利用COMSOL仿真软件建立了铜片双温模型,通过控制变量,数值研究了光斑半径和激光能量对电子与晶格温度的影响,并预测了烧蚀形貌。结果表明,单脉冲激光光斑半径越大,铜片的烧蚀深度越小,烧蚀面积越大;激光能量越高,铜片的烧蚀深度越大,烧蚀面积越大。实验结果进一步证实了仿真的可靠性。
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