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5. Evolution of infrared spectra and optical emission spectra in hydrogenated silicon thin films prepar

Evolution of infrared spectra and optical emission spectra in hydrogenated silicon thin films prepar

来源 :null | 被引量 : 0次 | 上传用户：wenhua5623

【作 者】

：

侯国付  耿新华  张晓丹  孙建  张建军  赵颖 

【出 处】

：

null

【发表日期】

：

2011年07期

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