基于微流体通道的柱状预浓缩器的设计与仿真

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【摘要】

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【作者】

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程洁李明虓叶一霏袁明宇刘洋赵阳黄成军

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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微柱气相微流体预浓缩器有限元分析(FEA) 微电子机械系统(MEMS)

【基金项目】

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国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2016YFC0900203);北京市自然科学基金资助项目(4182072);中国科学院百人计划资助项目

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