【摘 要】
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由于微机电系统（MicroEleetroMechanicalSystem，MEMS）在微小零件加工中存在不足，微细铣削加工作为一项补充技术正在日益受到人们的重视。介绍了研制的微型精密三轴联动立式铣床（30
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由于微机电系统（MicroEleetroMechanicalSystem，MEMS）在微小零件加工中存在不足，微细铣削加工作为一项补充技术正在日益受到人们的重视。介绍了研制的微型精密三轴联动立式铣床（300mm×300mm×290mm）的系统构成，开发了中文控制软件并集成了视频采集系统，此设备在薄膜型工件（膜厚65μm）的微槽加工中取得了满意的效果（膜厚方向上材料去除率90．7％，成品率大于80％）。对微径端铣刀进行了力学特性分析，并通过刀具磨损试验分析了微径硬质合金TiAlN涂层及非
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