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针对3维型面采用误差矩阵和误差矢量表示方法，建立3维误差模型。对傅立叶变换的分频特性进行了理论分析，采用傅立嚅变换方法对3维误差进行分析，并进行了实践验证，实现对3维误差模型的频率分离，获得周期误差的幅一频信息，采用2维滤波与滤波器处理技术进行频率误差信息提取，从而实现有用信息的提取，为误差的可补偿研究提供补偿依据。