Micronic致力于激光光掩膜市场

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【摘要】

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Micronic Laser Systems AB日前在上海举行的年度技术研讨会上特别介绍了其针对中国本地市场新推出的新型激光绘图仪FPS5300,更具弹性选用配置的FPS5300有着更高的分辨率和更

【出处】

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集成电路应用

【发表日期】

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2008年11期

【关键词】

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Micronic Laser Systems AB日前在上海举行的年度技术研讨会上特别介绍了其针对中国本地市场新推出的新型激光绘图仪FPS5300,更具弹性选用配置的FPS5300有着更高的分辨率和更精确的图形控制,适用于先进封装及其他电子产品应用的大尺寸光掩膜生产。

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