【摘 要】
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采用电泳沉积技术在经三乙醇胺处理的铝电极上成功制备Al_2O_3/BaTiO_3交织结构薄膜,探讨了电泳沉积电压和沉积时间对沉积薄膜低频介电性能的影响。悬浮液中颗粒在较高的电压
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采用电泳沉积技术在经三乙醇胺处理的铝电极上成功制备Al_2O_3/BaTiO_3交织结构薄膜,探讨了电泳沉积电压和沉积时间对沉积薄膜低频介电性能的影响。悬浮液中颗粒在较高的电压下运动速度较快,且沉积时间较短时,悬浮液的浸泡作用对沉积薄膜的影响较小,热处理后形成的Al_2O_3/BaTiO_3交织层结构优异,提高低频区的界面极化程度,改善了钛酸钡薄膜低频介电性能。90V/5min的沉积条件为铝基底上电泳沉积制备钛酸钡薄膜的最佳条件,在该条件下制备的钛酸钡薄膜电容值在10m Hz时为1.84μF/cm2,介电
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