【摘 要】
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基于自制的金属氧化物半导体气敏传感器对甲烷、乙烷、乙烯、乙炔在1—20μL/L低浓度范围内进行气体检测特性试验,并对其响应机理进行探究,对被测气体的分子轨道能级进行计算分
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基于自制的金属氧化物半导体气敏传感器对甲烷、乙烷、乙烯、乙炔在1—20μL/L低浓度范围内进行气体检测特性试验,并对其响应机理进行探究,对被测气体的分子轨道能级进行计算分析,另外还对传感器的选择性机理做定性分析。
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