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基于近十三年国际固态电路年度会议(International Solid State Circuit Conference,ISSCC ) 上有关毫米波功率放大器(Power Amplifier,PA)的研究成果,分别从制作工艺、频率范围、电路结构和核心性能参数等方面对毫米波PA的研究进展进行了详细地分析。ISSCC报道的毫米波PA覆盖22~260GHz频率范围,主要采用CMOS、BiCMOSsiGe和SOICMOS等工艺制作而成,为了方便片上系统(System-on-ChiP,SoC)单芯片集成,CMO