【摘 要】
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介绍了Mo2C膜的制备过程和对其电阻率的测量结果,探索了其导电机理以及沉积时间、基底温度和生长过程对电阻率的影响.利用Gibbs函数极小的原理探索了膜中Mo原子的含量随温度
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介绍了Mo2C膜的制备过程和对其电阻率的测量结果,探索了其导电机理以及沉积时间、基底温度和生长过程对电阻率的影响.利用Gibbs函数极小的原理探索了膜中Mo原子的含量随温度的变化规律,并对电阻率随温度的变化规律给予了解释.结果表明:它的电阻率取决于生长过程和Mo原子的含量;电阻率随基底温度、沉积时间呈非线性变化.
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