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用热处理方法合成Nd-Fe-B系垂直磁各向异性薄膜永磁材料[1] 永磁体的微小化正引起电机、致动器、微波集成电路、超高密度磁记录技术、微型电-机系统等领域的关注.按目前水平100μm为薄板化的极限,现已能制取高性能Nd2Fe14B(称为相)的薄膜永磁体,如用溅射法制得高矫顽力垂直磁化膜.用厚20μm各向异性薄膜永磁体试作了mm尺寸的微型电动机等,从1995年以来对其在微型电-机系统(MEMS)中的应用研究正蓬勃展开.