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以扫描探针显微理论为基础，讨论了基于光学纤维探针技术的自聚焦透镜光斑测量方法．介绍了实验系统的构成和测量原理、光学探针的制作和软件控制技术，并且以日本产NSG自聚焦透镜为样品进行了光斑测量和分析．所得结果对于评价自聚焦透镜的成像性能具有重要意义．
基于光探针技术的自聚焦透镜光斑测量方法
【摘 要】
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以扫描探针显微理论为基础，讨论了基于光学纤维探针技术的自聚焦透镜光斑测量方法．介绍了实验系统的构成和测量原理、光学探针的制作和软件控制技术，并且以日本产NSG自聚焦透镜
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2004年2期
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