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文章对影响结晶器专用坐标测量机测量精度的各项误差进行了详细分析,用齐次坐标理论建立了误差修正模型,对影响测量精度比较大的21项几何误差进行修正,并给出各项几何误差的传递系数。通过对误差修正后的测量机各轴不确定度进行评定,找出影响测量精度的瓶颈因素,分析了存在的问题并给出改进措施,最后通过实验验证了该方法的正确性和实用性,为保证测量机的精度提供了理论指导。