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真空计量的需求与发展
真空计量的需求与发展
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:slgull
【摘 要】
:
综述了对真空计量的需求与发展,其中包括对全压力、分压力、气体微流量、真空泵抽速、空间真空测量和特殊条件下对真空测量的需求,还包括对真空计量标准和测试设备的需求。
【作 者】
:
张涤新
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2007年3期
【关键词】
:
真空计量
真空测量
真空校准
vacuum metrology vacuum measurement vacuum calibration
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综述了对真空计量的需求与发展,其中包括对全压力、分压力、气体微流量、真空泵抽速、空间真空测量和特殊条件下对真空测量的需求,还包括对真空计量标准和测试设备的需求。
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