Processing Time Prediction Method Based on SVR in Semiconductor Manufacturing

来源 :东华大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangccui

【摘要】

：

The prediction problem of the actual value of the dynamic parameters in the simulation model in semiconductor manufacturing was discussed. Considering the fact

【作者】

：

朱雪初乔非

【机构】

：

CollegeofElectronics&,InformationEngineering

【出处】

：

东华大学学报：英文版

【发表日期】

：

2014年2期

【关键词】

：

SEMICONDUCTOR MANUFACTURING SUPPORT VECTOR regression(SVR) PROCESSING time predi

【基金项目】

：

National Natural Science Foundation of China （No. 61034004）

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The prediction problem of the actual value of the dynamic parameters in the simulation model in semiconductor manufacturing was discussed. Considering the fact that the default value of processing time of one certain equipment in the simulation model was

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