梳状谐振器的F—I类比宏模型及SPICE分析

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huzhan_dong

【摘要】

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分析了双极板静电换能器在小信号激励下极板水平运动的情况,推导了适合于F-I类比的机电关系表达式.由于SPICE中没有对应此关系式的库单元器件模型,对包含有此换能器结构的系

【作者】

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闻飞纳李伟华戎华

【机构】

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东南大学MEMS教育部重点实验室

【出处】

：

固体电子学研究与进展

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

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梳状谐振器 F—I类比宏模型 SPICE分析 MEMS 双极板静电换能器 comb resonator FI analogy SPICE macromo

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分析了双极板静电换能器在小信号激励下极板水平运动的情况,推导了适合于F-I类比的机电关系表达式.由于SPICE中没有对应此关系式的库单元器件模型,对包含有此换能器结构的系统很难进行完整的SPICE描述.对此关系式设计了两种可用SPICE描述的等效电路,以达到梳状谐振器F-I类比宏模型的整体一致性描述,并验证了此宏模型的正确性.

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