铜在钽及掺氮钽表面的粘附性研究

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采用超音速火焰喷涂、低压等离子喷涂和激光熔覆工艺,在钽及掺氮钽基体表面制备了25μm厚的铜涂层,并对其进行了粘附性测试。结果表明,与激光熔覆工艺相比,超音速火焰喷涂和低压等离子喷涂获得的铜涂层与钽及掺氮钽基体的结合强度明显增加,超音速火焰喷涂增幅也最大。超音速火焰喷涂的主要工艺参数可选为:燃气压力0.45 MPa、燃气流量40 L/min、氮气压力0.35 MPa、氮气流量1 450 L/min、氧气压力0.5 MPa、氧气流量550 L/min、喷涂距离205 mm。 A 25μm thick copper coating was prepared on the surface of tantalum and tantalum-doped tantalum by ultrasonic flame spraying, low pressure plasma spraying and laser cladding. The adhesion of the coating was tested. The results show that, compared with the laser cladding process, the bonding strength between copper coating obtained by supersonic flame spraying and low pressure plasma spraying and tantalum and nitrogen-doped tantalum matrix is ​​obviously increased, and the increase of supersonic flame spraying is the largest. The main process parameters for supersonic flame spraying are as follows: gas pressure 0.45 MPa, gas flow 40 L / min, nitrogen pressure 0.35 MPa, nitrogen flow 1 450 L / min, oxygen pressure 0.5 MPa, oxygen flow 550 L / min, spraying The distance is 205 mm.
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