【摘 要】
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高温加速老化测试是半导体存储器产品可靠性评估必经的步骤。其中产品失效激活能的确定对数据保持能力研究有重要意义,它决定了老化可靠性评估的原则。文章首先介绍了可靠性
【机 构】
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无锡华润上华科技有限公司,苏州大学电子信息学院微电子系
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高温加速老化测试是半导体存储器产品可靠性评估必经的步骤。其中产品失效激活能的确定对数据保持能力研究有重要意义,它决定了老化可靠性评估的原则。文章首先介绍了可靠性评估原则的确定方法,然后在不同的温度下进行老化测试,利用数据规一划方法确定了相关重要数据,最后给出了在工艺稳定后的活化能和量产时的数据保持能力测试前烘烤的温度和时间。
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