化学气相沉积TiN—沉积温度及基体中碳的影响

来源 :华东冶金学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dingyongguo

【摘要】

：

本文研究了沉积温度对Cr12MoV钢基体TiN沉积速率的影响。TiN沉积速率高于低碳钢基体TiN沉积速率,并且随沉积温度升高而增加。研究了不同碳含量铁基体中碳扩散对TiN沉积的影响

【作者】

：

王豫陈二保

【机构】

：

华东冶金学院冶金工程系,华东冶金学院冶金工程系

【出处】

：

华东冶金学院学报

【发表日期】

：

1989年2期

【关键词】

：

化学气相沉积氮化钛涂层 Chamicel vapour deposition Titanium Nitride Coating.

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本文研究了沉积温度对Cr12MoV钢基体TiN沉积速率的影响。TiN沉积速率高于低碳钢基体TiN沉积速率,并且随沉积温度升高而增加。研究了不同碳含量铁基体中碳扩散对TiN沉积的影响。TiN沉积速率随碳含量增加线性增加;涂层硬度亦随碳含量增加而增加。基于铁的催化作用,推导出TiN沉积速率方程式: R=h_1+k_1·C

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