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X射线干涉仪以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位，可以实现亚纳米精度的微位移测量。提出了将X射线干涉仪和扫描隧道显微镜结合起来，利用单晶硅的晶格尺度测量扫描探针显微镜样板节距的技术方案，并进行了实验研究。
X射线干涉仪实现扫描探针显微镜样板线间距纳米测量
【摘 要】
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X射线干涉仪以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位，可以实现亚纳米精度的微位移测量。提出了将X射线干涉仪和扫描隧道显微镜结合起来，利用单晶硅的晶格尺度测量扫描探针显微镜样
【机 构】
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清华大学精密测量技术及仪器国家重点实验室,中国计量科学研究院长度处,联邦德国物理技术研究院
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2004年期
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