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期刊论文
多晶硅氢化炉热场部件革新
多晶硅氢化炉热场部件革新
来源 :云南冶金 | 被引量 : 0次 | 上传用户:victinfy
【摘 要】
:
多晶硅氢化炉热场部件是影响氢化炉稳定运行的关键因素,通过分析研究原有热场材料存在的缺陷,改进热场结构及材质,以提升热场部件使用寿命,确保氢化炉的稳定运行。
【作 者】
:
罗平
蔡永明
顾国宝
刘阳赞
【机 构】
:
昆明冶研新材料股份有限公司,云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
【出 处】
:
云南冶金
【发表日期】
:
2016年4期
【关键词】
:
多晶硅
氢化炉
保温罩
加热体
polysilicon
hydrogenation furnace
heat cover
heating unit
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多晶硅氢化炉热场部件是影响氢化炉稳定运行的关键因素,通过分析研究原有热场材料存在的缺陷,改进热场结构及材质,以提升热场部件使用寿命,确保氢化炉的稳定运行。
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