多晶硅氢化炉热场部件革新

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多晶硅氢化炉热场部件是影响氢化炉稳定运行的关键因素,通过分析研究原有热场材料存在的缺陷,改进热场结构及材质,以提升热场部件使用寿命,确保氢化炉的稳定运行。
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