使用低磁场的分布溅射离子泵

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1、引言 在电子储存环中,一般地为了解决受通导限制长真空室的抽气,在弯转磁铁磁场中装置线性的离子泵~〔1〕。这些泵构成真空室的一部份,并且伸展到所有容易受同步辐射光解吸作用的真空室部份。LEP真空系统已经计划采用整套的离子泵~〔2〕。然而,特殊问题是这些泵必须运用在 1, Introduction In the electronic storage ring, generally in order to solve the pass-restricted long vacuum chamber of the exhaust, magnetic field in the bending magnet device linear ion pump ~ 〔1〕. These pumps form part of the vacuum chamber and extend to all parts of the vacuum chamber that are easily desorbed by synchrotron radiation. LEP vacuum system has been planned to use the entire ion pump ~ [2]. However, the special problem is that these pumps must be used
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