Zr掺杂Taq薄膜离子导体性能的研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangjunhua66

【摘要】

：

采用射频反应磁控溅射工艺，以纯钽、锆为靶材，在WO3/ITO/玻璃基材上制备TaOx：Zr薄膜。研究锆掺入量、掺杂方式、溅射功率等制备工艺参数对TaOx薄膜性能的影响。用三位电极法和透

【作者】

：

黄佳木吕佳张新元覃丽璐

【机构】

：

重庆大学材料学院

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2006年5期

【关键词】

：

无机非金属材料 TaOx 非晶态薄膜离子导体磁控溅射掺杂 inorganic non-metallic materials TaOx amorphous

【基金项目】

：

重庆市科委攻关资助项目（2000-6214）

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用射频反应磁控溅射工艺，以纯钽、锆为靶材，在WO3/ITO/玻璃基材上制备TaOx：Zr薄膜。研究锆掺入量、掺杂方式、溅射功率等制备工艺参数对TaOx薄膜性能的影响。用三位电极法和透射光谱等方法检测薄膜的离子导电性能。结果表明：TaOx：Zr薄膜主要为非晶态，在150W的掺杂溅射功率和10min的相对掺杂时间的实验条件下，所制备的TaOx：Zr薄膜有良好的离子导电性能，透光率约为90％．

其他文献

高中生物厌学学生的成因、特点及防控策略的研究

中学生的厌学是一个令社会、学校和家长都甚为担忧的问题。从长远来看,不解决这一问题,将对提高我们全民族的文化素质带来严重的不良影响。本研究的主要任务在于观察总结高中

学位

高中厌学学生成因特点防控策略

马科学家研制出可降解的人工骨

马来西亚核能署近日称，该机构科学家研制出一种人工骨，这种人工骨可在诱导人体新骨生长后自行降解，从而满足医学界的需要。

期刊

人工骨科学家可降解马来西亚自行降解骨生长

基于GIS的社区公共服务设施区域配置差异化研究

根据社区公共服务设施的拥有量、拥有率、城乡比、职工数等指标统计，运用GIS专题分析方法，从我国三大区域间、区域内分析社区公共服务设施配置差异化特征，结果表明：社区公共服务

期刊

社区公共服务设施配置差异化GIS

低温加氢催化剂CT6-11在镇海炼化的应用

介绍了镇海炼化公司7×10^4 t/a 硫磺回收及尾气处理装置运行情况和 CT6-11低温尾气加氢催化剂在装置上的运行情况。通过近期运行实践表明,低温尾气加氢催化剂 CT6-11具

期刊

硫磺回收CT6-11催化剂尾气加氢低温S-zorb

警察徒手防卫与控制训练中的遇抗训练分析

在警察徒手防卫与控制训练中进行遇抗训练对提高警察警务实战能力水平,提升良好的职业精神素养具有重要的意义。在遇抗训练中应根据学员学习阶段水平、教学重点与教学目标等

期刊

警察徒手防卫与控制教学训练遇抗训练

深证成指周收益率波动性的实证研究

利用GARCH模型,对深圳成分指数的周收益率波动性进行了实证研究。以深证成指周收盘数据建立了GARCH模型,利用估计出的GARCH模型得到深证成指周收益率序列的条件方差的估计值,

期刊

GARCH模型条件方差波动性

试论苏泊罕游牧文化活态博物馆对于民族文化传承与保护的意义

回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield

会议

《西部医学》对来稿中“参考文献”引用与著录的要求

期刊

液硫夹套管线腐蚀原因分析及防护

天然气净化装置硫磺回收单元中酸性气和液硫均使用蒸汽夹套管伴热，生产过程中出现多次液硫夹套管线泄漏，严重影响装置的平稳生产。对泄漏液硫夹套管线进行了失效分析，论述主要腐

期刊

高含硫天然气硫磺回收夹套管线液硫

企业如何唱好精细化管理这部重头戏

期刊

精细化管理企业效率效益

Zr掺杂Taq薄膜离子导体性能的研究

与本文相关的学术论文