高厚径比盲孔HDI板水平脉冲电镀参数的研究

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该文主要通过DOE试验,研究了水平脉冲电镀参数如传送速度,正向电流密度,反向电流密度,正反向脉冲时间及部分参数间的交互作用对高厚径比盲孔的HDI板电镀均匀性和铜厚的影响,找出高厚径比盲孔HDI板电镀的最佳电镀工艺参数.同时应用于二阶盲孔HDI板的电镀.
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