【摘 要】
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利用哈特曼夏克传感器测量圆孔径内波像差时 ,通常使用泽尼克模式复原算法。推导了一般情况下哈特曼夏克传感器泽尼克模式波前复原误差的计算公式。用哈特曼夏克传感器测量一
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所自适应光学研究室; 中国科学院光电技术研究所自适应光学研究室 成都610209; 成都610209;
【基金项目】
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国家 8 6 3高技术计划激光领域资助课题
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利用哈特曼夏克传感器测量圆孔径内波像差时 ,通常使用泽尼克模式复原算法。推导了一般情况下哈特曼夏克传感器泽尼克模式波前复原误差的计算公式。用哈特曼夏克传感器测量一个像差板的随机静态像差 ,通过与ZYGO干涉仪的测量结果比较 ,得到不同泽尼克模式复原阶数下的波前复原误差的实验结果 ,并与理论计算结果进行了对比。
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