【摘 要】
：
利用ECR-微波等离子溅射沉积技术加不同偏压在45钢基体上制备了ZrN薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观组织结构进行了分析.结果表明,无偏压时薄膜
【机 构】
：
大连理工大学三束国家重点实验室,中国工程物理研究院,江苏大学微纳米中心
论文部分内容阅读
利用ECR-微波等离子溅射沉积技术加不同偏压在45钢基体上制备了ZrN薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观组织结构进行了分析.结果表明,无偏压时薄膜为非晶膜,随着偏压的升高,薄膜呈ZrN晶体结构.利用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)测试了薄膜表面形貌.薄膜表面平整,但仍存在局部缺陷;粗糙度(RMS)在0.311-0.811nm之间变化,轮廓算术平均值(Ra)在0.239-0.629 nm之间变化.同时利用电化学极化实验在0.5 mol/L NaCl溶液中测试了基
其他文献
目的评价经腹腔镜、后腹腔镜与开放性肾盂输尿管切开取石术的临床价值。方法对12例经腹腔镜、20例经后腹腔镜和35例开放性肾盂输尿管切开取石术的临床资料进行统计分析，比较三
弥漫性胸膜间皮瘸来源于胸膜的间皮细胞及胸膜下间皮组织。是一种较少见的胸部恶性肿痛。该病常常被误诊为肺癌．发病率有逐年增加的趋势。现将笔者对28例恶性胸膜间皮瘤临床病
探讨了2002年春季内蒙古多伦县总悬浮颗粒物(TSP)和细颗粒物(PM2.5)的分布特征以及颗粒物浓度与气候的关系.并用仪器中子活化分析法(INAA)测定了TSP的元素成分,利用多种多元
本文针对使用两块球面镜产生非球面波记录球面光栅的光路,分析条纹函数解析表达式的误差来源,指出当光栅基底半径或辅助球面镜半径较小时,理论公式推导过程中的级数展开会引
本文在考虑相互作用区内电子束和激光束横向发散的前提下,推导了激光同步辐射源X射线通量的计算公式,讨论了激光束和电子束束腰尺寸对X射线通量和谱通量的影响.根据谱通量最
前剂量技术是瓷器热释光测定年代的一个重要方法,它在瓷器中有两个重要特征——热激活效应和辐照熄灭效应。本文根据这两个效应,得到了测定瓷器古剂量的两个方法,一个是“激
用预富集中子活化分析法测定了新疆洪古勒楞蛇绿岩中的稀土元素(REE),用仪器中子活化法测定了微量元素.依据测定结果分析了微量的稀土元素和过渡金属元素及不相容元素地球化